真空隔離閘閥在宏爾瑞特應用
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真空隔離閘閥在宏爾瑞特應用真空閘閥技術參數
材質 | 本體 | 304 S.S. |
閥車 | 304 S.S. | |
閘門 | 304 S.S. | |
Bellows | AM350 | |
使用壽命 | 4” (包含)以下 | 100,000 次 |
尺寸4”以上 | 50,000 次 | |
1大氣壓下之漏率 | <2×10-10std cc / secfor Viton bonnet seal | |
耐溫限製 | 開 | 200°CViton bonnet seal |
關 | 150°CViton bonnet seal | |
使用壓力範圍 | 10-10torr ATM | |
大使用壓差 | 開啟前20 torr | |
標準密封 | 閘門 | Viton O’ring |
上蓋 | Buna N O’ring | |
尺寸 | 2”~ 8” | |
驅動器 | 電-氣動或手動 | |
表麵處理 | 表麵拋砂處理 | |
選配 | a.位置指示器 | |
b.氣動控製電磁閥 | ||
c.超規加大型接口 | ||
d.其他材質之密封門O型環 |
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